汪传勇
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左然
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人工晶体学报
在泡生法蓝宝石单晶生长中,单晶炉内的热场对晶体质量至关重要.本文首先对单晶炉的顶部热屏、环形加热器和炉底保温进行了改进,然后结合计算机数值模拟,对热场改进前、后晶体的轴向和径向温度梯度、晶体表面温度分布、加热器功率等进行分析对比.结果表明:改进后的倾斜热屏增强了单晶炉内的辐射传热,对已生长出的晶体起到了后热作用,降低了晶体内的热应力;对加热器和底部钼保温层的改进,减小了加热器与坩埚间的热阻,增强了炉内的保温作用,使加热功率降低了约8%.
关键词:
泡生法
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蓝宝石单晶
,
热场优化
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数值模拟
杨琳
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左然
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苏文佳
,
娄中士
材料导报
利用计算机模拟对泡生法蓝宝石单晶各生长阶段的热应力进行了分析,发现晶体中最大热应力位于籽晶与新生晶体交界处或靠近固液界面的晶体边缘,其次位于晶体肩部.在此基础上,针对某一生长阶段讨论了加热器位置和坩埚形状对晶体中热应力分布的影响.结果表明:固液界面处的热应力随着加热器轴向中点与熔体轴向中点的距离L的增加先减后增,当L为190mm时,晶体中热应力最小；随着坩埚底部倒角半径的增加,固液界面处热应力呈上升的趋势.
关键词:
泡生法
,
蓝宝石单晶
,
数值模拟
,
固液界面
,
热应力
陈晨
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陈洪建
,
于海群
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阎文博
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刘彩池
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王运满
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程鹏
人工晶体学报
利用晶体生长模拟软件CGSim,模拟了引晶过程中晶体的直径对晶体生长初期晶体的热流密度和轴、径向温度梯度的影响.结果表明:随着引晶直径的减小,晶体肩部的热流密度减小,轴向及径向温度梯度减小,因而能有效的减小晶体内的热应力,减少晶体位错及小角度晶界缺陷,提高晶体质量,模拟结果得到了实验的验证.
关键词:
蓝宝石单晶
,
引晶直径
,
数值模拟
,
位错
,
小角度晶界
王佳麒
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张艳
,
裴广庆
,
周金堂
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李涛
,
黄小卫
,
柳祝平
人工晶体学报
采用化学腐蚀-金相显微镜法,利用熔融的KOH对顶部籽晶温度梯度法(TSTGT)生长的直径320 mm的蓝宝石单晶中不同部位的晶片做了位错腐蚀形貌分析.研究表明,(0001)面的位错腐蚀坑呈三角形,腐蚀晶界具有延伸性.对比不同腐蚀时间、不同腐蚀温度和不同表面粗糙度下的腐蚀效果,发现使用KOH腐蚀剂在400℃腐蚀15min时,效果最好.表面粗糙度越小,位错图像越清晰.
关键词:
蓝宝石单晶
,
腐蚀
,
KOH
,
表面粗糙度
柯利峰
,
黎建明
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苏小平
,
那木吉拉图
,
李楠
人工晶体学报
本文用热交换法生长出a向,尺寸为φ150 mm×160 mm,重10 kg的低位错蓝宝石晶体,并采用化学腐蚀-金相显微镜法观测了(0001)晶面的位错形貌.结果显示:(0001)晶面的位错腐蚀坑呈三角形,分布较均匀和分散,图像清晰,平均位错密度较低,为2.1×103 Pits/cm2;热交换系统保温效果好,能独立控制熔体和晶体的温度梯度,温场起伏小,具有良好的稳定性和可控性,适合用来生长大直径低位错的蓝宝石晶体.
关键词:
蓝宝石单晶
,
热交换法
,
晶体生长
,
位错
