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SAPMAC法长蓝宝石晶体的温场设计、工艺分析与控制

许承海 , 韩杰才 , 张明福 , 孟松鹤 , 左洪波

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00344

采用SAPMAC法, 以a向为结晶取向, 生长出φ 240mm ×210mm, 重27.5kg的完整透明的蓝宝石单晶. 从理论上探讨了缺陷密度及晶体开裂与温度分布、生长速率、冷却速率等晶体生长工艺参数之间的关系. 设计了SAPMAC法生长大尺寸晶体的最佳温场分布、 工艺控制. 利用专用设备加工出大尺寸晶棒、板状窗口, 并测试了标准样品的红外透过性能.

关键词: 蓝宝石 , SAPMAC method , temperature field design , process optimization

蓝宝石单晶窗口材料空间粒子辐照效应研究

张宇民 , 柯瑞 , 韩杰才 , 周玉锋 , 尹中伟 , 李凯

人工晶体学报

蓝宝石单晶(α-Al2O3)窗口材料服役于空间环境中将不可避免地受到各种不同射线及离子流的辐照作用,影响其使用性能.本文研究了蓝宝石单晶经不同剂量质子流、电子流以及综合流辐照后其表面粗糙度、透过率以及面形精度等光学性能和结构的变化.实验表明空间粒子辐照使蓝宝石表面粗糙度增大且具有剂量效应,其中综合流对表面粗糙度影响最大,质子次之,电子影响最小;UV-Vis-VIR及FTIR测试实验表明空间粒子辐照使蓝宝石透过率下降,在紫外波段下降最明显,且在不同波段范围内不同辐照粒子种类对蓝宝石单晶透过率的影响程度也不同;粒子辐照对面形精度的影响不明显.

关键词: 蓝宝石 , 辐照 , 粗糙度 , 透过率 , 面形精度

飞秒脉冲激光对蓝宝石辐照作用的研究

蒋成勇 , 周国清 , 徐军 , 邓佩珍 , 干福熹

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.02.007

本文采用脉冲宽度为120fs,波长为800nm的飞秒激光对蓝宝石样品进行辐照,经过激光辐照后材料呈暗黑色,在辐照区域的边缘发现有微裂纹,个别区域以至于微裂纹扩展成宏观裂纹.通过相关数学模型计算出激光聚焦后能量密度、蓝宝石在激光辐照瞬间的热影响范围(HAZ)及材料所达到的最高温度.发现经飞秒激光辐射引起样品的附加吸收与波长呈指数衰减关系.材料在经过飞秒激光辐射照后出现了大量的红外吸收峰,并对其产生原因进行了分析.

关键词: 蓝宝石 , 飞秒脉冲激光 , 辐照 , 吸收

手表蓝宝石玻璃上真空蒸镀增透膜的研究

孔晶 , 吴昌 , 宋鹏涛 , 谢逸 , 刘海华

电镀与涂饰

基于蓝宝石玻璃在手表上的应用,在蓝宝石玻璃上制备了真空蒸发镀增透膜,研究了MgF2、Al2O3-MgF2、Al2O3-H4-Al2O3-MgF2 (H4为LaCO3、TiO2等的混合物)、Al2O3-H4-Al2O3-H4--Al2O3-MgF2等4种不同膜层结构的增透膜对表玻的可见光透过率、耐磨性能和化学耐久性的影响.结果表明,蓝宝石衬底上镀单层及多层增透膜后,可见光透过率均得到较大提升.镀单层MgF2后,蓝宝石玻璃在420~780 nm波段的平均透光率从镀膜前的87.208%提高到90.610%;镀Al2O3-H4--Al2O3-H4-Al2O3-MgF2多层膜后,玻璃在可见光波段内的透光率较均匀,其平均透光率增加至91.208%,而且玻璃的耐磨性和化学耐久性均较好.

关键词: 蓝宝石 , 真空蒸发镀 , 增透膜 , 透光率 , 耐磨性 , 化学耐久性

蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究

宋文燕 , 刘正堂 , 崔虎 , 李强 , 赵铁成

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2005.05.004

采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,讨论了工艺参数对沉积速率的影响.结果表明,Si3N4薄膜的沉积速率随溅射气压的增大出现先增后减的趋势,衬底温度对沉积速率没有明显的影响.溅射气压的降低、衬底温度的提高将有利于获得高质量的Si3N4薄膜.

关键词: 磁控反应溅射 , 蓝宝石 , 氮化硅薄膜 , 沉积速率

蓝宝石强化研究进展

张明福 , 张海亮 , 郭怀新 , 韩杰才 , 杨海 , 霍承松 , 黎建明

材料导报

蓝宝石窗罩在气动热效应作用下易产生破裂,使其结构/功能失效.提高蓝宝石高温强度可有效抑制其高温断裂行为.结合国内外研究成果,从蓝宝石高温失效机理、蓝宝石高温强度表征新方法和蓝宝石强化方法等方面,综合评述了蓝宝石强化研究领域的最新成果,其中重点介绍了蓝宝石强化的研究进展,最后指出了我国蓝宝石强化研究的努力方向.

关键词: 蓝宝石 , 失效机理 , 强化 , 进展

蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备

冯丽萍 , 刘正堂 , 李阳平 , 陈继权

功能材料

用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆 菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.

关键词: 蓝宝石 , SiO2薄膜 , 膜系设计 , 射频磁控反应溅射

不同厚度Tl-2212薄膜的表面形貌及超导特性研究

谢清连 , 季鲁 , 潘吟松 , 张玉婷 , 黄国华 , 赵新杰 , 方兰 , 阎少林

稀有金属材料与工程

采用直流磁控溅射法和后退火技术在蓝宝石基片上制备了Tl-2212超导薄膜,考察了Tl-2212薄膜的厚度对其形貌和超导特性的影响.实验结果表明,随着超导薄膜厚度增加,其表面形貌由致密平整的结构演化为片状晶体结构,临界转变温度rc和临界电流密度Jc先增大后减小,微波表面电阻Rs先减小后增大.在退火的CeO2缓冲层上所制备的无裂纹薄膜的最大厚度达到600 nm,并仍然具有良好的超导性能.

关键词: Tl-2212超导薄膜 , 蓝宝石 , 表面形貌 , 超导特性

水热法合成掺Mn橙色刚玉晶体

董国义 , 张华伟 , 韦志仁 , 李志强 , 葛世艳 , 窦军红 , 王立明

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.026

本文采用水热法,在430℃、40MPa的压力下合成出了纯α-Al2O3晶体.在同样的条件下,通过掺入Mn(NO3)2合成了掺Mn橙红色刚玉晶体.掺入Mn(NO3)2时,合成产物有两种晶体,一种是无色刚玉晶体,体积较小,为六棱柱状,直径30~40μm,高为30~40μm.另一种晶体为橙红色掺Mn刚玉晶体,其外形轮廓近乎球形,晶体表面有十分粗糙的生长阶梯,台阶高度为2~5μm,晶体高200~300μm,直径200~300μm.

关键词: 锰掺杂 , 水热法 , 蓝宝石 , 晶体形貌

不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响研究

熊伟 , 储向峰 , 董永平 , 毕磊 , 叶明富 , 孙文起

人工晶体学报

本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原子力显微镜观察磨料的粒径大小.研究了不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光(CMP)的影响,利用原子力显微镜检测抛光前后蓝宝石晶片表面粗糙度.实验结果表明,在相同的条件下,采用SiC、Al2O3作为磨料时,材料去除速率与表面粗糙度均不理想;而采用含1%粒径为110 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率最高为41.6 nm/min,表面粗糙度Ra=2.3 nm;采用含1%粒径为80 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率为36.5 nm/min,表面粗糙度最低Ra=1.2 nm.

关键词: 蓝宝石 , 化学机械抛光 , 去除速率 , 表面粗糙度 , 磨料

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