李天璘
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朱彦旭
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徐晨
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高国
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沈光地
功能材料
由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数.采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系.并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄膜光学常数的影响.根据Hall效应测量了ITO在不同蒸发速率下的载流子浓度,分析了ITO光学常数随蒸发速率增加而增加的机理.
关键词:
ITO
,
椭偏仪
,
电子束蒸发法
,
蒸发速率
平柏战
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徐绍艳
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洪斌
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陈晓玲
,
张洁
,
张溪文
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.z1.044
迄今为止,国内现有的电磁屏蔽视窗不能很好兼具高透光率和高电磁波屏蔽效能.为此,本工作采用电子束蒸发法以ITO膜作为电磁波屏蔽层,探讨了纳米透明电磁屏蔽玻璃的制备及性能.为得到高屏蔽效能并保证较高的透光度,研究了膜厚、成膜速率、透光率、方电阻、屏蔽效能之间的关系,找到了最佳工艺参数.另一方面,通过对屏蔽膜进行原位高纯氧气氛下的后续热处理,改变ITO材料微结构,获得微纳晶团簇化显微结构,进一步降低方电阻,有效地提高了屏蔽效能.结果表明,厚度在500～1000nm之间,蒸镀速率为0.23nm,并经过400℃40min原位后处理可得到方电阻为5～3Ω/□,透光率76.3%～71.6%,屏蔽效能54.8～63.2dB的高性能ITO膜.另外,通过对玻璃基片采用预先热处理增强或将镀有屏蔽膜的玻璃和另外一块普通白玻进行复合制成夹层玻璃的方式,制得符合要求的特种安全玻璃.
关键词:
ITO
,
电磁屏蔽
,
蒸发速率
,
方电阻
,
透光率
