王明光
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杨慧
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汪嘉恒
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宁策
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徐奕辰
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祁阳
功能材料
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究.结果表明,所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向.掺杂量为2％(原子分数)时,Al在ZnO薄膜中达到最高水平.过量Al掺杂明显减弱薄膜的c轴择优取向.随着Al掺杂量的增加,ZnO晶粒进一步细化.其原因是未进入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成了对晶界运动的钉扎,从而阻碍了ZnO晶粒进一步长大.
关键词:
ZnO薄膜
,
微观结构
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溶胶-凝胶
,
Al掺杂
,
自组装机制
