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聚焦离子束扫描电镜三维重构夹杂物的形态和分布

吴园园 , 洪慧敏 , 张珂

冶金分析 doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.009750

以MnS易切削钢和E H36电渣焊焊缝区样品为研究对象,首先利用聚焦离子束扫描电镜的自动系列切片和成像(Auto Slice & View )功能对夹杂物进行逐层切片并成像,然后利用A mira软件根据夹杂物的衬度进行三维重构,从而得到钢铁材料中单一夹杂物及复合夹杂物的形态和分布。其中,复合夹杂物的物相确定还结合了电子探针的元素面分析和电子背散射衍射的物相分析功能。结果表明,MnS易切削钢中的夹杂物呈现条形体、纺锤形体和椭球形体共存的分布状态,而EH36电渣焊焊缝区的复合夹杂物主要由晶态Mn2 TiO4相和富集Al、Ca、Mg、Si、Mn、O元素的非晶相组成,且两种相伴生存在。夹杂物的三维重构图清晰显示了夹杂物的形态和分布特征,对于研究夹杂物对钢材性能的影响提供了重要依据。

关键词: 聚焦离子束 , 三维重构 , 自动切片与成像 , 夹杂物 , 形态和分布

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