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金刚石薄膜异质外延的研究状况与展望

王传新 , 汪建华 , 马志斌 , 满卫东 , 王升高

材料导报

综述了化学气相沉积异质外延金刚石薄膜机理及工艺的研究现状,分析了存在的问题,并对今后的研究进行了展望.

关键词: 金刚石 , 膜异质外延 , CVD