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万军 , 马志斌
材料导报
评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置.
关键词: 液相沉积 , 金刚石 , 碳膜 , 脉冲电弧放电
马志斌 , 万军 , 黄杨风 , 汪建华
新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2004.02.002
利用脉冲电弧放电在大气压下产生的高密度等离子体研究了结晶氮化碳薄膜的低温合成.直流脉冲电弧等离子体由甲醇/氨水溶液液滴通过高压电极时诱导放电产生.利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman光谱分析了薄膜样品的形貌和结构.在基片温度为450 ℃时所制样品的X射线衍射分析表明薄膜中含有α-C3N4和β-C3N4两种结构晶体,Raman光谱给出了明显的特征峰,这些特征峰与氮化碳晶体的理论预言值符合较好.当基片温度提高到550 ℃时,Raman光谱分析表明,样品为炭膜.
关键词: 氮化碳薄膜 , 脉冲电弧放电 , 甲醇/氨水溶液
