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石英管材中羟基的去除

李清海 , 霍玉秋 , 赵乃仁 , 翟玉春 , 张路明

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2002.02.018

应用高温氮气法对不同石英材料进行了羟基去除的实验研究,考察了温度、时间、氮气流量等因素对去除羟基的影响.结果表明采用高温氮气法去除不同石英样品中羟基效果不同,对熔炼石英样品羟基质量分数从139.2×10-6降到小于1.0×10-6,气炼石英单晶片中羟基去除效果不明显.

关键词: 高温氮气法 , 羟基去除 , 羟基含量