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用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.08.003

利用电化学方法制备了多孔硅,利用显微拉曼光谱法测量多孔硅样品的热导率和多孔硅中的残余应力,利用纳米压入测量仪测量多孔硅显微硬度与弹性模量.研究了多孔硅绝热性能和力学性能与微观结构的关系,认为通过控制制备条件可以得到绝热性能和力学性能满足MEMS热敏传感器结构性能要求的多孔硅.

关键词: 热敏传感器 , 绝热层 , 多孔硅 , 绝热性能 , 力学性能

真空绝热板的研究进展

朱万平 , 段正才 , 陈照峰 , 周介明 , 陈清

宇航材料工艺

综述了真空绝热板(VIP)的超高效绝热性能,介绍了VIP的选材和研究现状,提出了存在问题及对VIP的应用进行了展望.

关键词: 真空绝热板(VIP) , 绝热性能 , 热导率

本文制备了纳米SiO2多孔陶瓷材料,并引入红外遮光剂提高其在高温下的绝热性能。利用场发射扫描电镜、比表面积及孔隙度分析仪、傅里叶红外分析仪和背温试验等方法对该材料的微观结构及绝热性能进行分析,并重点研究了红外遮光剂的作用机理。当添加质量分数为20%、平均粒径为1.07μm的六钛酸钾（K2Ti6O13）作为遮光剂时,试样的最大有效消光系数从19.5m2/Kg提高到60.6m2/Kg,热面温度为600℃的试样的背面温度从252℃降低到148.9℃。红外遮光剂的加入能有效散射和反射红外辐射,显著提高试样的有效消光系数,改善该材料的高温绝热性能。

关键词: SiO2多孔陶瓷 , 绝热性能 , 红外遮光剂

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用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究

真空绝热板的研究进展

纳米SiO2多孔陶瓷的绝热性能

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