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基于组合薄膜制备技术的成分梯度薄膜(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)的制备和热电性能研究

王群骄 , 张毅斌

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.05.018

采用"组合激光溅射制膜技术",制备了高质量(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜.采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构.在0≤x≤1范围内,(La1-xCax)VO3 形成了固溶体.800℃生长的LaVO3薄膜具有最大的功率因数 (α)值0.6 μW/cm K2.V离子化学价对LaVO3的热电性能影响很大,当它由+3向+2变化时,可能获得良好的热电性能.

关键词: 成分梯度薄膜 , 热电 , 钒氧化物 , 组合激光溅射沉积技术