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组合薄膜制备技术在热电材料中的应用

王群骄 , 张毅斌

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.04.013

"组合技术"是现代的新材料开发的手段.介绍了一些新的组合技术,如:"组合激光分子束外延技术"和"组合激光溅射制膜技术",并采用"组合激光溅射制膜技术",成功制备了高质量La1-xCexVO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜.采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构."组合激光溅射制膜技术"被证明是非常高效、精确的新材料薄膜研究方法,具有光明的前景.

关键词: 组合技术 , 组合激光溅射制膜技术 , 成分梯度薄膜 , 热电