何宇亮
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林鸿溢
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武旭辉
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余明斌
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于晓梅
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王珩
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李冲
材料研究学报
使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料
关键词:
纳米Si薄膜
,
null
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null
,
null
周阳
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郑红芳
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王英龙
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刘保亭
功能材料
在4.0×10-4Pa的真空条件下,采用脉冲激光烧蚀技术在单晶Si衬底和石英衬底上制备了非晶纳米Si薄膜.在N2气氛下,经过900℃热退火得到纳米Si晶薄膜.采用表面台阶测试仪、扫描电子显微镜、拉曼光谱仪等检测手段对样品不同位置的微观结构进行了表征.测量结果表明制备的纳米Si晶薄膜厚度及其晶粒尺寸分布不均匀,随着测量点与样品沉积中心距离的增加,薄膜的厚度逐渐减小,纳米Si晶粒的尺寸逐渐增大.从脉冲激光烧蚀动力学的角度对实验结果进行了定性的分析.
关键词:
脉冲激光烧蚀
,
纳米Si薄膜
,
晶粒尺寸
,
羽辉动力学
梁伟华
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王秀丽
,
赵亚军
,
庞学霞
,
王英龙
材料导报
采用基于密度泛函理论的第一性原理的方法,对厚度为0.54～3.30nm纳米Si薄膜的电子结构、光学性质及弹性常数进行了计算.结果表明,纳米Si薄膜是直接带隙半导体材料;随着纳米Si薄膜厚度的减小,带隙逐渐增大;薄膜的光学吸收边发生蓝移,吸收带出现宽化现象;弹性常数、杨氏模量和泊松比呈现尺寸效应.
关键词:
纳米Si薄膜
,
第一性原理
,
光学性质
,
弹性常数
