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In2O3气敏元件的研制及影响因素的研究

程知萱 , 潘庆谊 , 董晓雯

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.02.010

以氯化铟为前驱体, OP-10为形貌控制剂, 采用溶胶-凝胶法制备了纳米In2O3粉体, 并以TG-DSC, XRD, TEM等多种手段对粉体进行了表征.以此粉体为气敏材料, 采用涂敷烧结的方法制成旁热式气敏传感元件, 研究了该元件对三甲胺(TMA)的检测性能, 重点讨论存在NH3干扰情况下的气敏性能.结果表明: 350 ℃煅烧1 h制备的In2O3粉体, 晶粒尺寸<20 nm, 呈立方晶型; 该粉体制成的气敏元件对TMA气体的检测灵敏度比起H2, C2H5OH等气体要高的多, 因此可用于选择性检测TMA; 此外, 该元件对NH3也有一定的响应, 进一步研究发现NH3存在对TMA检测的影响主要是NH3在In2O3材料表面的吸附所至.掺杂Pd2+可提高In2O3材料的检测灵敏度, 降低检测温度; Pd2+的掺杂量在质量分数0.2%~5% PdCl2-In2O3范围内变化对TMA检测灵敏度的影响不明显.

关键词: 气敏元件 , 纳米In2O3 , 三甲胺 , NH3

纳米In2O3的微乳液合成及酒敏性能

詹自力 , 蒋登高 , 常剑 , 钟可创 , 宋文慧

稀有金属材料与工程

采用微乳液法制备超细In2O3粉体,粉体粒径为8 nm,在In2O3基体材料中掺杂Pd及金属氧化物,研制出实用性的热线型C2H5OH气敏元件,该元件功耗低(小于300mW),选择性高,长期稳定性好.并考察了温度、湿度变化对气敏元件性能的影响,分析了元件的气敏机理.

关键词: 纳米In2O3 , C2H5OH , 气敏元件

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