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纳米集成电路用大直径硅及硅基材料研究进展

屠海令

功能材料

本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景.

关键词: 纳米集成电路 , 大直径硅单晶 , 硅基材料