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侯杰 , 杨君友 , 朱文 , 郜鲜辉
材料导报
电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响ECALE过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展.
关键词: 纳米超晶格 , ECALE , 欠电位沉积 , 原子层外延
朱文 , 杨君友 , 崔崑 , 张同俊
随着热电材料制备技术和性能研究的发展,纳米超晶格热电薄膜已受到人们的关注.简要介绍了有关纳米超晶格热电材料的结构、热电机理及制作技术.并指出了存在的问题和可能的发展方向.
关键词: 热电材料 , 纳米超晶格 , 制备 , 研究进展