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SiC薄膜对纳米结构Ti拉伸和摩擦性能的影响

许晓静 , 姜玉杰 , 陆树显 , 曹进琪 , 邵红红 , 高建昌

稀有金属材料与工程

考察了SiC薄膜对块体纳米结构钛力学和摩擦性能的影响.实验采用磁控溅射技术制备SiC薄膜(样品台不加温),使用划痕仪测量界面结合力,采用拉伸试验机测量拉伸性能,采用摩擦试验机测量摩擦性能(对摩件为Si3N4,干摩擦),采用SEM-EDAX观察分析微观组织.研究了薄膜(或涂层)对块体纳米材料力学性能的影响,并且获得了一种兼具高强度、良好塑性和良好摩擦学性能的纯钛金属材料.研究结果表明,SiC薄膜不仅不会降低纳米结构Ti的拉伸性能,而且能显著降低摩擦系数(从0.7到0.3),大大提升抗磨性能.

关键词: SiC薄膜 , 磁控溅射 , 纳米结构钛基材 , 拉伸性能 , 摩擦学性能

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