杜朝锋
,
黄英
,
秦秀兰
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2007.02.021
纳米磁性薄膜在光、磁、电方面有着独特的性能.对目前国内外纳米磁性薄膜在磁记录、软磁材料、吸波材料等方面的最新研究进展进行综述.分别对纳米磁性单层膜、多层膜以及颗粒膜的特性,薄膜的制备方法,磁性薄膜表征手段,如XRD、SEM、TEM、AFM、三维原子探针(3DAP)以及磁性能、介电性能和磁导率的测试结合实例进行讨论.纳米磁性薄膜材料性能较传统的粉体有更加明显的优势,薄膜材料特别是纳米磁性多层膜、颗粒膜作为一种新型的磁性复合材料将是今后的研究方向.
关键词:
纳米磁性薄膜
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制备方法
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综述
,
表征
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磁性能
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介电性能
,
磁导率
冯则坤
,
邓联文
,
何华辉
功能材料
采用射频磁控溅射法制备了FeCoB/SiO2纳米磁性多层膜,并对其微波特性进行研究.用微波谐振腔法测量了该薄膜的复磁导率,2GHz频率处复磁导率实部及虚部分别可达251和22.7.重点研究了多层膜结构中介质层厚度及薄膜总厚度对磁导率的影响,同时结合直流电阻率ρ、静态磁参数Bs、Hc的测量结果分析,探讨了纳米磁性多层膜的微波高磁导率机理,并提出了微波频率下获得高磁导率及低磁损耗的途径.实验结果也表明这种纳米磁性多层膜材料有望在高频平面变压器、平面电感器、薄膜电磁干扰抑制器等领域获得应用.
关键词:
纳米磁性薄膜
,
多层膜结构
,
微波磁导率