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丝网印刷nano-SiC薄膜阴极的电子特性的研究

张秀霞 , 雷崇民 , 王晓娥 , 盛洪江 , 魏舒怡 , 魏杰

功能材料

研究了低成本大面积丝网印刷在玻璃衬底上均匀的纳米碳化硅(nano-SiC)薄膜的场致发射特性.提出了机械分散团聚的nano-SiC的方法,实验了适合导电玻璃衬底上制备nano-SiC薄膜的浆料配方,摸索导电玻璃衬底上nano-SiC薄膜的烧结工艺,研究了不同nano-SiC含量的薄膜的场发射特性,得到了最佳场致发射特性的配方比例.对样品进行微观分析和表征.具有稳定均匀场致发射性能的nano-SiC薄膜可作为显示器器件的阴极材料.

关键词: 纳米碳化硅薄膜 , 电子场发射 , 丝网印刷 , 后处理过程

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