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低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-siO的纳米尺度显微结构

詹倩 , 于荣 , 贺连龙 , 李斗星 , 郭晓楠

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.04.001

成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

关键词: 低辐射薄膜 , 微观结构 , HREM , 纳米束分析

低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-SiO的纳米尺度显微结构

詹倩 , 于荣 , 贺连龙 , 李斗星 , 郭晓楠

金属学报

成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

关键词: 低辐射薄膜 , null , null , null

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