詹倩
,
于荣
,
贺连龙
,
李斗星
,
郭晓楠
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.04.001
成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.
关键词:
低辐射薄膜
,
微观结构
,
HREM
,
纳米束分析
詹倩
,
于荣
,
贺连龙
,
李斗星
,
郭晓楠
金属学报
成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.
关键词:
低辐射薄膜
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