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FIB/SEM 双束系统在微纳加工与表征中的应用

彭开武

中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.03

简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以一些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的一些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,一些新技术如新型离子源Plasma、 He +/Ne +离子等与现有 Ga +聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。

关键词: 聚焦离子束 , 双束系统 , 纳米材料表征 , 纳米结构加工 , 电子束曝光 , 透射电镜样品制备

纳米ZnO表面改性及抗紫外性能研究

陈孟 , 许绿丝 , 吴升晖 , 舒展

材料导报

通过用硅烷偶联剂对纳米znO进行表面改性,使其均匀分散在乙醇中,对改性前后的ZnO分别通过XRD、IR、SEM表征,并测定ZnO/乙醇分散液和通过SD将纳米ZnO涂覆到雨伞布料后的抗紫外性能.结果表明:纳米ZnO通过偶联剂的改性后,晶体结构无明显变化,ZnO表面羟基与偶联剂分子结合后可均匀分散在乙醇中;在ZnO/乙醇分散液中,ZnO质量浓度仅需0.2‰,紫外线透过便可控制在5%以下;在布料涂敷少量的纳米ZnO后,其抗紫外性能可明显提高.

关键词: 纳米ZnO , 表面改性 , 抗紫外 , 纳米材料表征 , 硅烷偶联剂

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