许晓静
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郝欣妮
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陆树显
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卓刘成
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夏登福
稀有金属材料与工程
采用室温磁控溅射技术在纳米晶体钛(剧烈塑性变形制备)表面制备出碳化硅(SiC)薄膜,研究SiC薄膜的组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能.结果表明:SiC薄膜具有纳米尺度"畴"特征的表面形貌、高含量Si-C键、与基材间具有明显且呈梯度的元素扩散、低的纳米硬度(10.62 GPa)、低的弹性模量(83.34 GPa)和高的硬模比(0.128).在1.96 N载荷、氮化硅球(半径为2 mm)为对摩件、室温空气条件下,其磨损速率为10<'-5>mm<'3>·m<'-1>·N<'-1>级、摩擦系数约为0.162,磨损后薄膜不出现裂纹和剥落.
关键词:
纳米晶体钛基材
,
薄膜
,
摩擦磨损
,
磁控溅射
