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二元系纳米多层薄膜非线性互扩散研究

曹保胜 , 董斌 , 何洋洋

材料导报

采用非均匀体系非线性动力学离散模型计算AB二元系纳米多层薄膜的非线性互扩散,研究了A、B原子间作用力之差VBB-VAA和有序能V对纳米多层薄膜浓度分布和界面结构的影响.对于V≤0的纳米多层薄膜,随着VSS-VAA由0减小到-0.05eV,扩散过程中多层薄膜浓度偏离对称分布,界面由宽化向平直转变,有序能V由0减小到-0.025eV,导致多层薄膜的扩散速度加快.当V>0时,扩散过程中多层薄膜出现相分离趋势导致的上坡扩散,初始宽化互混的界面变得平直,且随着VBB-VAA由0减小到-0.05V,多层薄膜扩散过程中形成的浓度起伏长大成为新的亚层.AB二元系纳米多层薄膜扩散过程中的浓度分布和界面结构演变与扩散非对称性系数m'、有序能V和初始时刻的浓度梯度有关.

关键词: 纳米多层薄膜 , 非线性动力学离散模型 , 互扩散 , 有序能 , 扩散非对称性系数

TiN/AlN纳米多层膜的研究

李戈扬

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.11.002

采用反应溅射法制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过XRD,HREM和显微硬度计对多层膜的调制结构和力学性能进行了研究.结果表明:TiN/AlN纳米多层膜有较好的调制结构.小调制周期时,AlN调制层以FCC结构在TiN调制层上外延生长.调制周期增大,AlN调制层中出现六方晶型.TiN/AlN的显微硬度随调制周期的减小单调上升,并在调制周期=2nm时达到最高值HK3293.硬度的增高极有可能是小调制周期时立方AlN的形成所致.

关键词: 纳米多层薄膜 , 反应溅射 , 调制结构 , 显微硬度

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