郑凤新
材料保护
耐磨、韧性好的超硬薄膜工程应用价值大.采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在GCr15轴承钢表面制备了纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究了薄膜的形貌、相组成、硬度、韧性和摩擦磨损性能.结果表明:薄膜中纳米SiC与Si3 N4晶体弥散分布于C-C,C=C以及N-C组成的非晶相基体中,形成了纳米晶/非晶复合组织结构,显著提高了薄膜的硬度和韧性,增强了薄膜的抗摩擦磨损性能；薄膜的硬度为(36.5±3.9) GPa,断裂韧性为(4.15±0.28) MPa·m1/2,稳定摩擦系数为0.27左右.
关键词:
AEMS
,
纳米复合Si-C-N超硬薄膜
,
显微结构
,
硬度
,
断裂韧性
,
摩擦系数
赵勇
,
华云峰
,
王彦峰
,
李争显
稀有金属材料与工程
采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能.结果表明,薄膜形成了C-C、C=C、N-C以及Si-C非晶复合组织结构.薄膜的硬度为(38.2±4.1) GPa,断裂韧性为(3.68±0.32) MPa·m1/2.薄膜的摩擦系数为0.23左右,具有良好的抗摩擦磨损能力.沉积Si-C-N薄膜的TA2试样在25℃、3.5％NaC1水溶液中的腐蚀速率为0.000 125 mm·a-1,是纯TA2的12.5％,具有良好的耐蚀性能.
关键词:
纳米复合Si-C-N超硬薄膜
,
显微结构
,
断裂韧性
,
摩擦系数
,
耐蚀性能
