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原子力显微镜在高分子薄膜领域的应用

洪晓东 , 王铀 , 杨永康

高分子材料科学与工程

介绍了原子力显微镜(AFM)在高分子薄膜领域中的最新应用技术.在定位观察薄膜时,可采用碳纳米管定位法以及针尖打孔定位法对所观察的样品进行定位,该方法可实现对样品进行离位处理之后再次精确定位.在测量高分子薄膜厚度时,可采用针尖打孔法和漂膜法通过制备断面台阶利用AFM精确测量薄膜厚度.基于特殊相分离形貌的嵌段共聚物薄膜,可采用AFM针尖对其表面进行锻造纳米加工.这些技术拓展了AFM在聚合物薄膜表征以及纳米加工等领域的应用.

关键词: 原子力显微镜 , 定位技术 , 测膜厚 , 纳米加工

AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性

周明 , 范晓萌 , 言峰 , 李健 , 王静静 , 蔡兰

材料科学与工程学报

利用飞秒激光与原子力显微镜的针尖部分耦合进行加工,是有望突破衍射极限,实现多隧道结加工的技术.本文在室温大气环境下,利用微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射镀有金薄膜的原子力显微镜的探针针尖,使其耦合产生局域场加强效应在PMMA薄膜表面加工出光栅状纳米图形.通过最大残差法计算了条纹高度和宽度的重复性百分比,计算得到高度和宽度的最大残差值分别为6.3%和2.9%.结果表明在文中所提供的加工条件下,原子力显微镜针尖耦合激光是一种有潜力的激光加工方法.

关键词: 飞秒激光 , AFM , 纳米加工 , PMMA

纳米加工及纳构件力学特性的分子动力学模拟

梁迎春 , 陈家轩 , 白清顺 , 唐玉兰 , 陈明君

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2008.08.009

利用分子动力学在原子尺度模拟了单晶Cu(111)面纳构件的纳米加工过程和加工后纳构件的拉伸过程,分析了纳刻划过程的缺陷行为及加工缺陷对纳构件力学特性的影响.结果表明:在纳刻划过程中,在针尖的前方和下方形成加工变形区;当刻划深度较浅时,位错仅在表面与亚表面繁殖;随着刻划深度的增加,加工后残留的缺陷数量增加,纳构件的有序度及首次屈服应力下降;加工后的纳构件内部,尤其在针尖退出处有较高的残余应力.对加工后的纳构件施加拉伸载荷,由于存在残留加工缺陷和较高残余应力,其应力-应变曲线在弹性上升阶段有局部下降;在塑性阶段,由于位错繁殖及位错塞积和中间部分原子的迁移重构使应力-应变曲线呈锯齿状逐渐下降.纳构件断裂失效前表现为单原子相连的纳链.纳构件的有序度随着刻划深度的增加而下降.在应变为0.8处,刻划较浅的纳构件的有序度较首次屈服处的有序度略好.

关键词: 分子动力学 , 纳米加工 , 拉伸 , 位错 , 残余应力 , 纳构件

单晶Cu纳米加工机理及其热效应的分子动力学模拟

郭永博 , 梁迎春 , 陈明君 , 卢礼华

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2009.10.008

基于大规模并行算法建立了单晶Cu纳米加工新型三维分子动力学仿真模型,采用Tersoff势、嵌入原子势(embedded atom method,EAM)和Morse势分别描述刀具原子之间,工件原子之间和工件与刀具原子之间的相互作用.研究了纳米加工过程中系统的温度分布及其热效应的影响,从位错和温度的角度对切屑形成过程和纳米加工表面的形成机理进行了分析.模拟结果表明:位错的扩展方向和切屑的堆积方向均沿着与切削方向成45°方向(<110>晶向)运动;系统的温度分布呈同心形,切屑处温度最高,同时在金刚石刀具中存在较大的温度梯度;随着系统温度升高,工件材料具有热软化效应;切削速度和切削刃钝圆半径对系统的温度分布影响很大.

关键词: 单晶Cu , 纳米加工 , 分子动力学 , 温度分布 , 热软化效应 , 位错

纳米球刻蚀技术

钟智勇 , 刘爽 , 赵文多 , 李敏姬 , 张怀武

功能材料

纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备.本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响.最后,综述了纳米球刻蚀技术的发展状况与趋势.

关键词: 纳米球刻蚀 , 纳米阵列 , 纳米加工

纳米加工及纳构件力学特性的分子动力学模拟

梁迎春 , 陈家轩 , 白清顺 , 唐玉兰 , 陈明君

金属学报

利用分子动力学在原子尺度模拟了单晶Cu (111)面纳构件的纳米加工过程和加工后纳构件的拉 伸过程, 分析了纳刻划过程的缺陷行为及加工缺陷对纳构件力学特性的影响. 结 果表明: 在纳刻划过程中, 在针尖的前方和下方形成加工变形区; 当刻划深度 较浅时, 位错仅在表面与亚表面繁殖; 随着刻划深度的增加, 加工后残留的缺 陷数量增加, 纳构件的有序度及首次屈服应力下降; 加工后的纳构件内部, 尤其在针尖退出处有较高的残余应力. 对加工后的纳构件施加拉伸载荷, 由于 存在残留加工缺陷和较高残余应力, 其应力--应变曲线在弹性上升阶段有局部下降; 在塑性阶段, 由于位错繁殖及位错塞积和中间部分原子的迁移重构使应力--应变曲 线呈锯齿状逐渐下降. 纳构件断裂失效前表现为单原子相连的纳 链. 纳构件的有序度随着刻划深度的增加而下降. 在应变为0.8处, 刻划较浅的 纳构件的有序度较首次屈服处的有序度略好.

关键词: 分子动力学 , machining , tension

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