宋晓岚
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王海波
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吴雪兰
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曲鹏
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邱冠周
中国稀土学报
以异丙醇铝和六水硝酸亚铈为铈源和铝源,采用溶胶-凝胶法制备了前驱体,并将前驱体在800℃下空气中焙烧2 h得到附载CeO2的高纯纳米γ-Al2O3.样品经X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、比表面积(BET)、化学成分和杂质含量分析,结果表明:合成的粉末为由γ-Al2O3和CeO2组成的混合物相,两者均属立方晶系,其中γ-Al2O3空间群为O7H-FD3M,CeO2空间群为Fm3m;晶粒平均粒径为15.7 nm,颗粒平均粒径约60~80 nm,粒子呈类球形,比表面积为159.01 m2·g-1;粒子纯度不低于99.97%,CeO2含量为24.22%.红外光谱(IR)测试结果显示,有Al-O-Ce键生成,表明CeO2与Al2O3并非简单混合.进一步通过对其悬浮液体系Zeta电位和吸光度的测定,研究了不同pH值条件、分散剂种类和用量以及氧化剂对其悬浮液分散稳定性的影响;采用超声波分散法,选择硝酸、氢氧化钾溶液作为pH调节剂,异丙醇胺作为分散剂,过氧化氢作为氧化剂,成功制备了长期存放不沉降的附载CeO2的纳米γ-Al2O3CMP浆料,确定了配制的优化工艺条件.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
纳米γ-Al2O3
,
CeO2
,
CMP
,
分散稳定
,
稀土
宋晓岚
,
王海波
,
曲鹏
,
吴雪兰
,
邱冠周
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2005.05.017
为确定配制稳定的纳米γ-Al2O3化学机械抛光(CMP)浆料的工艺条件,通过润湿性、Zeta电位及黏度的测定,研究了溶液pH值及添加分散剂等因素对水相体系纳米γ-Al2O3悬浮液分散稳定性能的影响.结果表明,在纳米γ-Al2O3固含量为6%的浆料中,加入异丙醇胺作为分散剂,其用量为γ-Al2O3粉体质量的1%,同时控制浆料的pH值约为4时,纳米γ-Al2O3粉末的润湿性能最佳,此时浆料Zeta电位值较高,黏度较小;在该条件下成功获得长时间不沉降的稳定浆料.
关键词:
纳米γ-Al2O3
,
CMP浆料
,
分散剂
,
分散稳定
连加松
,
李冬云
,
杨辉
稀有金属材料与工程
以廉价的铝锭和异丙醇为起始原料,采用独特的分离提纯、回收再利用技术和溶胶凝胶工艺,合成高性能纳米氧化铝粉体,并利用TEM,XRD和石墨炉原子吸收法等对粉体的相组成、形貌和杂质含量进行分析研究.得出原料对粉体的形貌和组成没有影响,两种不同的Al源均制备出了粒径为10~20nm,球形γ-Al2O3粉体;而原料和蒸馏工艺对纳米氧化铝粉体的纯度有影响,随铝锭纯度的增加,所制备的纳米氧化铝所含的微量杂质含量明显下降.和一次蒸馏相比,二次蒸馏所得产物的主要微量杂质明显下降.利用重熔铝锭为原料,采用二次蒸馏工艺,制得了纯度高达99.99%的纳米氧化铝,且在制备过程中没有废液,废气排出,实现了高纯纳米氧化铝粉体的低成本、环保型生产.
关键词:
绿色合成
,
纳米γ-Al2O3
,
纯度
,
溶胶-凝胶
石涛
,
郭兴忠
,
杨辉
稀有金属材料与工程
异丙醇铝为先驱体,异丙醇为溶剂,乙酰乙酸乙酯为螯合剂,聚乙二醇(PEG1000)为分散剂,硝酸为胶溶剂,采用溶胶-凝胶法制备了纳米γ-Al2O3.并采用DTA/TG,XRD,TEM等测试技术对纳米γ-Al2O3粉体进行表征.结果表明,通过溶剂、螯合剂、分散剂和胶溶剂的协同效应,在750℃煅烧条件下,γ-Al2O3粒子形貌为针状结构,长度为20~30 nm;在900℃煅烧条件下,γ-Al2O3粒子形貌为颗粒状,平均晶粒尺寸为10 nm左右;纳米γ-Al2O3粒子尺寸均一、分散性良好.
关键词:
纳米γ-Al2O3
,
溶胶凝胶法
,
异丙醇铝