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基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法

栗大超 , 徐临燕 , 傅星 , 胡小唐

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.036

本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.

关键词: 纳机电系统 , 纳米梁 , 厚度测量 , AFM , 弯曲测试

基于碳纳米管的纳机电系统的可控稳定振动

李健文 , 刘念华

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2017.02.007

采用数值方法研究了基于双壁碳纳米管的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件.确定了获得持久稳定的振动的系统和控制力参数.计算和分析了双壁碳纳米管的操作特性.结果表明,通过选择合适的驱动振幅和频率,能够实现双壁碳纳米管的持久稳定振动.该方法对于进一步研究基于碳纳米管的纳机电系统的设计有重要的参考价值.

关键词: 纳机电系统 , 纳米振子 , 驱动频率 , 稳定振动 , 碳纳米管

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