罗炳威
,
邓元
,
高歌
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.18.008
利用磁控溅射法,研究了不同基底温度和工作气压对 CdTe 薄膜微纳米结构的影响. XRD 和SEM表征结果表明,基底温度直接决定着 CdTe 粒子的生长和表面扩散能力,工作气压会直接影响入射在衬底表面的粒子能量,溅射功率决定提供 CdTe 粒子的量.通过生长条件的进一步探索和优化,最终在溅射功率为84 W、工作气压为0．4 Pa和石英基底温度为200~450℃时成功获得直径约150 nm,形貌均一的一维CdTe纳米棒阵列.
关键词:
CdTe
,
纳米棒
,
阵列
,
纤维锌矿相
