王鸿翔
,
左敦稳
,
卢文壮
,
徐峰
材料科学与工艺
为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透射率与工艺条件密切相关,当衬底温度为750℃,碳源体积分数为2%,压强为2.5 kPa时沉积的金刚石膜红外透射率最佳.
关键词:
CVD
,
金刚石膜
,
红外透射率
,
工艺条件
宋贵宏
,
宫骏
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2000.04.019
本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.
关键词:
金刚石膜
,
热丝化学气相沉积
,
红外透射率
,
晶体形貌
许春
,
左敦稳
,
孙玉利
,
卢文壮
,
王珉
硅酸盐通报
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在石英玻璃上成功制备出高质量金刚石膜.采用表面三维轮廓仪和傅立叶红外光谱仪测试了不同工艺条件下金刚石薄膜的表面粗糙度和红外透射率,并分析了测试结果.结果表明所制备的金刚石膜表面平整,红外透射性能良好.
关键词:
HFCVD
,
石英玻璃
,
金刚石膜
,
表面粗糙度
,
红外透射率
