闫泽武
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王和明
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蔡以超
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杨耀源
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东艳苹
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方珍意
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李楠
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孙振宇
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李洪生
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.01.006
本文报道了采用化学气相沉积法制备红外ZnS体块晶体的工艺及其性能.并用傅立叶红外光谱仪测试了材料的红外性能,研究了晶体缺陷对材料红外透过率的影响.结果表明:通过优化生长工艺,使反应室的压力在500～1000Pa之间变化,沉积温度控制在550～650℃之间,可以制备出厚度均匀,红外透过率(3-5μm和8～12μm)在70%以上,尺寸达250mm×250mm×15mm高质量的ZnS体块晶体.
关键词:
硫化锌
,
化学气相沉积法
,
红外性能
,
红外晶体
