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晶种对自增韧Si3N4显微结构和性能的影响

吕杰 , 刘伯操 , 张立同

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2000.04.001

采用热压烧结-高温气压处理的方法研究了棒状β-Si3N4晶种对La2O3-Y2O3系自增韧Si3N4显微结构和性能的影响.结果表明,加入晶种将在组织中引入粗大柱状β-Si3N4晶粒,分布均匀;随着晶种加入量的增加,粗大柱状β-Si3N4晶粒数量增加,组3织明显粗化.当晶种加入量较小时(10vol%),材料具有较高的断裂韧性(~12MPam1/2),同时保持较高的强度(800~900MPa),而当晶种加入量较大时,则表现为抗弯强度的明显下降.分析表明,大晶粒直径及其面积百分数是影响断裂韧性的主要因素.

关键词: 晶种 , 自增韧性Si3N4 , 显微结构 , 力学性能 , 粗大柱状晶

用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量

瞿全炎 , 曾德长 , 史新伟 , 刘正义

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2008.04.009

采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜.用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌.分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响.磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸.形成光滑的TiN薄膜表面,细化TiN晶粒,形成结合紧密的膜基结构.

关键词: TiN薄膜 , 弯曲磁过滤 , 薄膜质量 , 粗大柱状晶 , 细小柱状晶

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