材料期刊网

金刚石薄膜在粒子探测器中的应用

沈沪江 , 王林军 , 夏义本 , 张明龙

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2003.05.001

本文分析了金刚石薄膜作为粒子探测器的优势和劣势,介绍了金刚石薄膜粒子探测器的机理和电极结构、"探测器级"金刚石薄膜的主要制备方法和金刚石薄膜粒子探测器的发展水平.同时报道了我们制备的金刚石薄膜探测器在X射线和α粒子辐照下的响应测试结果,并分析了实现高性能探测器的障碍.

关键词: 金刚石薄膜 , 粒子探测器 , 化学气象沉积