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掺杂对类金刚石薄膜性能的影响

王立达 , 刘贵昌 , 邓新绿

材料导报

类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.

关键词: 类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能