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等离子体浸没离子注入(PⅢ)在材料表面改性中的应用及发展

陈惠敏

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.05.027

等离子体浸没离子注入(PⅢ)是一种用于材料表面改性的新的离子注入技术.系统地分析和讨论了等离子体浸没离子注入技术的原理和特点:该技术直接将待处理材料浸没在等离子体中进行注入,保留了常规束线离子注入(CBⅡ)技术的主要特点,消除了常规束线离子注入所固有的视线限制,克服了保持剂量问题,使注入装置变得简单和价廉.综述了等离子体浸没离子注入技术在金属材料、半导体材料和高分子材料改性方面的应用.展示了等离子体浸没离子注入技术应用的发展前景.

关键词: 常规束线离子注入 , 等离子体浸没离子注入 , 等离子鞘 , 表面改性