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2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

钱程 , 陈志 , 马鸿义 , 武启 , 张文慧 , 王云 , 杨尧 , 方兴 , 孙良亭

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.30.01.032

ECR离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要.在中国科学院近代物理研究所现有的2.45 GHz ECR质子源上,对等离子体阻抗进行了测量.首先用水吸收负载代替等离子体负载测量得到了所用微波窗阻抗,然后根据质子源测量数据,推算得到了等离子体阻抗.实验结果表明,脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配,等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性.这些结果为ECR离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据.

关键词: ECR离子源 , 等离子体阻抗 , 脊波导 , 阻抗匹配

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