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等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究

雷明凯 , 袁力 , 张仲麟 , 马腾才

无机材料学报

采用等离子体源离子渗氮，即低能（1-3keV）、超大剂量（10¹⁹～10²⁰ions．cm^-2）氮离子注入-同步热扩散技术，在300～500℃处理碳化硼薄膜，合成了硼碳氮三元薄膜．俄歇电子能谱和漫反射富氏变换红外光谱分析表明，合成的硼碳氮薄膜是碳硼比固定，氮含量可控的非晶态薄膜．300℃渗氮的薄膜由sp~2型的硼、碳、氮微区构成，而500℃渗氮的薄膜则由sp³和sp²型复合的微区组成．较高的渗氮工艺温度促进sP³型结构的形成，渗氮工艺时间对薄膜结构的影响不显著．

关键词: 等离子体源离子渗氮 , null

奥氏体不锈钢耐磨和耐蚀复合改性

雷明凯

腐蚀学报（英文）

采用电子回旋共振(ECR)微波等离子体源离子渗氮技术对奥氏体不锈钢进行氮化处理,获得与等离子体浸没离子注入(PII)结果相似的高硬度、高耐磨性表面改性层。

关键词: 等离子体源离子渗氮 , null , null , null

等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究

雷明凯 , 袁力江 , 张仲麟 , 马腾才

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.033

采用等离子体源离子渗氮,即低能(1～3 keV)、超大剂量(1019～1020ions.cm-2)氮离子注入--同步热扩散技术,在300～500℃处理碳化硼薄膜,合成了硼碳氮三元薄膜. 俄歇电子能谱和漫反射富氏变换红外光谱分析表明,合成的硼碳氮薄膜是碳硼比固定,氮含量可控的非晶态薄膜. 300℃渗氮的薄膜由sp2型的硼、碳、氮微区构成,而500℃渗氮的薄膜则由sp3和sp2型复合的微区组成. 较高的渗氮工艺温度促进sp3型结构的形成,渗氮工艺时间对薄膜结构的影响不显著.

关键词: 等离子体源离子渗氮 , 硼碳氮薄膜

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