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类金刚石碳膜的结构及其微动磨损行为

郭军霞 , 蔡珣 , 陈秋龙

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.09.005

采用非平衡磁控溅射与等离子源离子注入(PSII)的混合技术,在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备N/Ti,N/TiN/C/DLC多层膜,研究其结构和微动磨损性能,并与N注入层比较.结果表明,N注入层内形成了CrN和Fe3N等氮化物相;多层膜内形成了TiN,Ti2N和CrN等化合物相.PSII技术能够提高1Cr18Ni9Ti不锈钢的表面硬度,N注入层的硬度约为基体硬度的2.5倍,DLC多层膜的硬度约为基体硬度的4倍.N注入层和DLC多层膜都能够提高 1Cr18Ni9Ti的抗微动磨损性,虽然DLC多层膜比N注入层薄,但其抗微动磨损性能更好.

关键词: 微动磨损 , 等离子体源离子注入 , 多层膜 , 不锈钢

DLC多层膜对1Cr1 8Ni9Ti钢微动磨损性能的影响

郭军霞 , 陈秋龙 , 蔡珣 , 韩兆隆

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2002.08.004

用非平衡磁控溅射与等离子体源离子注入(PSII)的混合技术,研究了类金刚石碳(DLC)多层膜对1Cr18Ni9Ti钢微动磨损性能的影响.结果表明:注入N后,改性层内形成了CrN和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高1Cr18Ni9Ti钢基体的微动磨损性能;试验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的微动磨损性能.

关键词: 微动磨损 , 等离子体源离子注入 , 多层膜 , 1Cr18Ni9Ti不锈钢

用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征

李新 , 唐祯安 , 徐军

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2004.06.004

采用等离子体源离子注入和电子回旋共振-微波等离子体辅助化学气相沉积技术相结合的方法在Si衬底上制备出了性能良好的类金刚石膜.通过共聚焦Raman光谱验证了薄膜的类金刚石特性,用原子力显微镜、微摩擦计和扫描电镜等对薄膜的表面形貌、摩擦系数和耐磨损性能进行了表征和测量.结果表明,用离子注入法制备过渡层大大提高了DLC膜与衬底的结合强度,薄膜的表面比较光滑,粗糙度大约为0.198 nm,具有较低的摩擦系数(0.1～0.15),具有较好的耐磨损性能.

关键词: 无机非金属材料 , 类金刚石膜 , 等离子体源离子注入 , 等离子体辅助化学气相沉积 , 微电子机械系统

Cr12MoV钢PSII氮离子注入层的组织与性能

王钧石

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2008.04.005

采用等离子体源离子注入技术(PSII),对Cr12MoV钢进行了氮离子注入,用俄歇电子能谱仪和透射电子显微镜对注入层的成分和组织进行了分析,分析结果表明:注入层的氮浓度分布具有类高斯分布特征;注入层中的马氏体组织被细化并有非晶态组织形成.显微硬度和摩擦性能测试结果表明,注入层的显微硬度和摩擦性能得到了明显的提高和改善.

关键词: 等离子体源离子注入 , 铬钢 , 表面改性

GCr 1 5钢等离子体源离子注入表面改性

王钧石 , 陈元儒 , 尚赛男 , 柳襄杯 , 王曦 , 桐洪辉

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.09.008

用等离子体源离子注入技术对GCr5钢进行了氮离子注入.对注入层的成分进行了俄歇剖面分析,对注入层的显微硬度和摩擦性能进行了测试,对摩擦磨损表面进行了扫描电镜分析.研究结果表明:注入层的硬度和耐磨性均获得了明显的提高.

关键词: 等离子体源离子注入 , 表面改性 , GCr 15钢

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