梁戈
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李洪涛
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蒋百灵
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吴文文
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张红军
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杨平
功能材料
采用不同等离子体清洗工艺对镁基金属样品进行清洗,随后磁控溅射沉积纯Cr镀层.利用SEM、划痕仪分析了不同等离子体清洗工艺下镁基金属的表面形貌与膜／基结合强度的变化.结果表明,过高的清洗偏压作用下,基体表面会产生深径比＞0.5的孔洞状结构缺陷;过长清洗时间后,离子轰击产生的能量积淀效应使基体表面温升显著,局部区域出现熔融、烧结现象,二者均使后续沉积镀层结合强度变低.
关键词:
等离子体清洗
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镁合金
,
表面形貌
,
结合强度
