材料期刊网

纯银等离子体基离子注入Al层的成分及相分析

于伟东 , 夏立芳

金属学报

采用金属等离子体离子注入的方法, 在Ａｇ基体上注入了Ａｌ, 用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对注入层的Ａｌ浓度－深度分布和化学态进行了分析, 用 射法（ＸＲＤ）对注入层和非平衡磁控溅射的Ａｌ沉积层相组成进行了测定和比较, 选用小掠射角（３°）ＸＲＤ对注入层的相组成进行了测定, 结果表明, 注入层中Ａｌ浓度沿深度方向逐渐降低, 表面有Ａｇ原子存在；近表面处形成了Ａｇ－Ａｌ固溶体并且出现了少量的μ－Ａｇ３Ａｌ相

关键词: 等离了体基离子注入 , null