李金刚
,
杨德仁
,
马向阳
,
阙端麟
材料导报
总结了氢对直拉硅(CZ)单晶中缺陷影响的研究进展,主要介绍了氢促进氧扩散、热施主和氧沉淀生成,以及高温氢气退火促进直拉硅片空洞型缺陷消除的机理,其中氢促进硅中氧的扩散被认为是氢对直拉硅中的缺陷产生影响的主要原因.
关键词:
氢
,
氧扩散
,
热施主
,
氧沉淀
,
空洞型缺陷
王磊
,
周旗钢
,
李宗峰
,
冯泉林
,
闫志瑞
,
李青保
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.03.011
研究了高温退火过程中氩/氢混合气氛对300 mm硅片表面质量(原生颗粒缺陷和微粗糙度)的影响.在氢气含量不同的氩/氢混合气氛中,对样品进行1100℃,1h的高温退火处理,研究退火前后硅片表面原生颗粒缺陷和微粗糙度值的变化.实验结果表明,氩/氢混合气氛中氢气的含量对硅片表面原生颗粒缺陷的消除没有促进也没有抑制作用,增加氢气比例能促进硅片近表层处空洞型缺陷的消除；混合气氛中氢气的存在使得退火后硅片表面的微粗糙度值增加的更多,同时随着氢气比例的增加,表面微粗糙度增加的百分比总体呈递增趋势.最后就氢气对硅片近表面处空洞型缺陷的消除促进作用和氢气至表面微粗糙度变化机制做了分析.
关键词:
高温退火
,
表面微粗糙度
,
空洞型缺陷
,
原生颗粒缺陷
文新理
,
张利冲
,
梅珍
,
赵帆
,
杨勇
,
刘雅政
材料热处理学报
利用实验室轧制实验研究了不同变形温度和变形量条件下27SiMn钢空洞型缺陷和组织的演变规律,采用一元非线性函数拟合了空洞平均直径与变形量间的关系,分析了变形温度和变形量对空洞平均直径和组织的影响,利用固态相变热力学和动力学基本原理探讨了变形温度和变形量对组织的影响机理,结果表明:影响空洞闭合的主要变形参数为变形量,变形量与空洞平均直径较好的符合D=9.29+ 210.08e-ε/11.78函数关系,随变形温度降低和变形量增加,点链状晶界铁素体(GBF)数量减少而等轴状铁素体数量增加,铁素体体积分数有所提高,组织整体细化,相变驱动力的提高和形核率的增加及其对铁素体相变的诱导作用可很好的解释组织的演变规律,为实现空洞型缺陷和组织均质化集成控制,适宜的变形温度在950℃左右,变形量30％～40％.
关键词:
27SiMn钢
,
空洞型缺陷
,
演变规律
,
晶界铁素体(GBF)
