欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(3)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

冷壁装置化学气相沉积制备纳米碳管

韩栋 , 乔生儒 , 邓波 , 李玫

材料导报

采用冷壁装置化学气相沉积(CVD)制备纳米碳管,以乙炔(C2H2)为碳源气体,研究了2种催化剂(镍、铁)、3种基底、3种稀释气体、3种稀释气体和碳源气体流量比以及温度对CVD法生长纳米碳管的影响,用SEM和TEM分析了产物的形貌.结果表明,镍催化活性高于铁的催化活性.与石墨和纯铁基底相比,以单晶硅基底生长的纳米碳管纯度更高,管壁更干净.3种稀释气体和碳源气体流量比(2/1、10/1、19/1)中,以流量比为10/1时生长纳米碳管效果最好.3种稀释气体(氨气、氢气、氮气)中,以氨气最好.随着生长温度的升高,催化剂的活性提高,有利于碳的有序排列,但生长的碳纳米管直径增大.当基底为单晶硅、催化剂镍膜厚度为20nm、氨气气氛、生长温度为850℃时,得到了近似定向生长的纳米碳管.

关键词: 冷壁CVD , 纳米碳管 , 催化剂 , 基底 , 稀释气体 , 流量比 , 温度

稀释气体对预混甲烷/空气点火的影响

张伟阔 , 苟小龙 , 孔文俊 , 陈正

工程热物理学报

本文采用详细化学反应机理数值研究了添加不同稀释气体(氦气/氩气/氮气/二氧化碳)对甲烷/空气预混气体点火的影响,比较了氢气/空气/二氧化碳和甲烷/空气/二氧化碳的最小点火能与稀释极限.研究结果表明:稀释气体的热力学效应和火焰动力学效应均会导致最小点火能变大;在添加二氧化碳时,甲烷/空气的稀释极限远低于氢气/空气的稀释极限.

关键词: 稀释气体 , 甲烷/空气 , 最小点火能 , 热力学效应 , 火焰动力学效应

稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响

张伟 , 赵业权 , 高军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.04.011

本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响.发现在成膜过程中适当量的Ar起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用.文中分析了其原因,并实现了利用Ar来控制高质量金刚石薄膜的生长.

关键词: 燃烧焰法 , 金刚石薄膜 , 稀释气体

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词