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原子力显微镜在材料研究中的应用

伍媛婷 , 王秀峰 , 程冰

中国材料进展 doi:10.3969/j.issn.1674-3962.2005.04.008

介绍了原子力显微镜的工作原理和特点.通过实例介绍了原子力显微镜在半导体材料、稀有金属材料、复合材料及人工晶体中的应用.指出原子力显微镜在材料的研究和开发过程中,有着广阔的应用前景.

关键词: 原子力显微镜 , 表面测试 , 稀有金属材料 , 复合材料