王春芬
,
黄宁康
,
张海峰
,
张永辉
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2008.06.002
CuCl+离子注入不同晶向的α-A12O3晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察.结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒.说明CuCl+离子注入α-Al2O3晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuCl+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒.颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同.
关键词:
离子注人
,
退火
,
偏聚
,
亚微米颗粒
