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辅助气体CH4和Ar对IBED制备碳膜性能的影响

李璞 , 关凯书 , 朱晓东 , 周建新

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.008

采用离子束辅助沉积技术(IBED)制备了一系列碳膜,重点分析辅助气体CH4、Ar对碳膜组成相、电阻率、厚度和硬度的影响.结果表明:采用CH4辅助轰击制得的薄膜厚度高于采用Ar辅助轰击的薄膜厚度;采用Ar辅助轰击的薄膜在硬度、结合强度方面要优于CH4辅助轰击的薄膜;相对于类金钢石薄膜,所制备的碳膜更接近于类石墨膜.

关键词: 离子束辅助 , 增强沉积 , 碳膜 , 类石墨膜 , 结合强度

离子束辅助真空电弧沉积TiO2-xNx薄膜及抗菌性能研究

成晓玲 , 胡社军 , 胡永俊 , 谢光荣 , 魏志钢

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.06.010

采用离子束辅助真空电弧沉积技术在玻璃衬底上制备了氮掺杂的TiO2薄膜样品,通过X射线衍射(XRD)、XPS以及UV-Vis分光光度计等测试手段对离子束辅助沉积样品的结构、表面成分及抗菌活性进行了分析,研究了经离子束辅助沉积氮掺杂的TiO2薄膜的抗菌性能.结果表明:离子束辅助沉积的氮掺杂的TiO2薄膜为非晶态结构,热处理后向锐钛矿转变,出现(101)面的择优取向.离子束流越大,TiO2-xNx薄膜红移的越少;抗菌活性随着离子束流的增加而减弱,但离子束辅助沉积的掺氮TiO2薄膜抗菌活性均比传统真空电弧沉积的薄膜抗菌活性高.离子束辅助沉积的掺氮TiO2薄膜对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌自然光照的抑菌率的抗菌率均可达99.9%以上.

关键词: 二氧化钛 , 薄膜 , 离子束辅助 , 氮掺杂 , 抗菌特性

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