袁欣
,
沈德忠
,
王晓青
,
沈光球
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.01.023
本文研究了在不同作用时间、不同工件转速、不同入射角度等条件下离子束对CLBO晶体抛光表面的处理效果.用原子力显微镜来观察和比较了CLBO晶体抛光表面处理前后的形貌和粗糙度.试验结果显示,离子束刻蚀的时间并非越长越好;较大的工件转速使晶体表面粗糙度变大;当离子束入射角度在30～60°之间时,处理后晶体表面粗糙度均变小,90°入射时,粗糙度明显增大.试验证明,离子束处理对晶体抛光表面粗糙度Rz值影响较之Ra值更大.
关键词:
CLBO晶体
,
离子束刻蚀
,
表面粗糙度
,
原子力显微镜
李红军
,
卢振武
,
廖江红
,
翁志成
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.007
衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用.使用薄膜沉积法和离子束刻蚀法制作16阶菲涅耳透镜,应用于折衍混合CCD相机.进行CCD相机光学系统成像质量评价和室外成像实验.该透镜的引入,不仅改善系统成像质量,而且实现了系统的轻量化、小型化,增加了系统设计的自由度.
关键词:
CCD相机
,
菲涅耳透镜
,
离子束刻蚀
,
薄膜沉积
,
衍射效率
赵逸琼
,
王建东
,
张晓波
,
李永平
,
伍源
,
王旭迪
,
傅绍军
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2005.02.004
采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明.用Nd:YAG脉冲激光器1.064 μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大.对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差.
关键词:
应用光学
,
衍射光学元件
,
准梯度下降法
,
镂空掩膜板
,
离子束刻蚀
