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徐禄祥 , 冷永祥 , 黄楠
功能材料
用非平衡磁控溅射技术制备氧化钛薄膜.研究了基体偏压、沉积温度、基体性质及溅射功率对薄膜晶体结构的影响.结果表明,到达基体的粒子的能量和离子/原子比是影响氧化钛薄膜晶体结构的主要因素;而到达基体的离子/原子比是生成完全金红石结构氧化钛薄膜的决定性因素.
关键词: 氧化钛薄膜 , 非平衡磁控溅射 , 晶体结构 , 离子/原子到达比
