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碳纳米管聚合物复合膜的等离子刻蚀研究

杜招红 , 曾效舒

人工晶体学报

本文研究了等离子刻蚀碳纳米管(CNTs)聚合物复合膜的工艺,并采用测量接触电阻表征薄膜的刻蚀效果.用SEM对刻蚀前后的试样膜面进行了观测.结果表明电压为100 V,电流为0.52 A时可以有效地刻蚀掉在制备无衬底碳纳米管膜时附在其上的粘胶剂和聚合物.且刻蚀前后碳纳米管复合膜的电阻有很大变化,从110.2Ω降至8.4Ω.

关键词: 等离子刻蚀 , 碳纳米管聚合物复合膜 , 电阻