李斌
,
张长瑞
,
胡海峰
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.06.028
合成了液态碳硅烷并对其结构进行了分析,以液态碳硅烷为先驱体在900 ℃、低压的条件下采用化学气相沉积工艺制备了SiC涂层.实验结果表明,液态碳硅烷是以Si-C键为主链的数种低分子聚合物的混合物,分子组成中不含氧和腐蚀性元素,可通过分馏得到具有合适沸点的先驱体.涂层表面光滑且质硬,沉积产物为较纯的部分结晶的β-SiC.
关键词:
碳硅烷
,
化学气相沉积
,
碳化硅
,
先驱体
李斌
,
张长瑞
,
胡海峰
,
齐共金
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.018
合成了液态碳硅烷并对其结构进行了分析;采用化学气相沉积工艺,以自制的液态碳硅烷为先驱体,分别在850℃和900℃的较低温度下制得了SiC粉体,并对产物进行了IR、XRD和SEM分析.结果表明,850℃产物中含有未分解完全的有机基团,900℃产物为较纯的部分结晶的纳米SiC粉体,粒度为50～70nm.
关键词:
低温化学气相沉积
,
碳化硅
,
碳硅烷
,
纳米粉体
