罗发
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朱冬梅
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苏晓磊
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李智敏
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周万城
稀有金属材料与工程
;用蔗糖、SiO2、Al2O3溶胶,利用碳热还原法合成了碳化硅粉体.研究结果表明,在1450℃有少量碳化硅合成.随着合成温度的提高,合成产物逐步由非晶态转化碳化硅;随着合成产物中碳化硅含量的升高,合成粉末的复介电常数增大.与合成的纯碳化硅相比,添加少量Al2O3溶胶后合成的碳化硅的复介电常数明显升高,其原因在于Al、O分别替代Si、C,导致SiC晶格中出现带电缺陷所致.在N2气氛中合成的碳化硅的复介电常数明显高于Ar气氛中合成的SiC的复介电常数,这是由于N原子固溶到SiC晶格中产生带电缺陷引起的.添加较多Al2O3溶胶后,合成产物的复介电常数的实部、虚部低于添加少量Al2O3溶胶时的合成产物的复介电常数的实部、虚部.分析认为,添加较多Al2O3溶胶后,合成产物中出现一定数量的Al2O3,它的复介电常数的实部、虚部均低于SiC的,从而导致合成产物的复介电常数降低.
关键词:
碳化硅
,
复介电常数
,
碳热-还原
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溶胶-凝胶
,
掺杂
