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二硅化钼涂层对碳化硅电热元件高温抗氧化性能的影响

苏向东 , 林蓉 , 郝维昌 , 王天民

稀有金属材料与工程

采用MoSi2粉末自烧结方法,在SiC电热元件表面制备一层致密的MoSi2高温抗氧化涂层,并对其高温抗氧化性进行测试.抗氧化试验在空气中1 500℃炉温下进行118 h和32次热循环,结果表明,带有MoSi2涂层的试样表面致密光洁,且试样抗氧化性能随MoSi2涂层厚度增加.SEM和EPMA显微分析表明,MoSi2涂层与SiC基体结合较好,没有起层和剥落,涂层中Mo分布均匀,损失约为20%.

关键词: 二硅化钼涂层 , 碳化硅电热元件 , 高温抗氧化

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