文娇
,
刘畅
,
俞文杰
,
张波
,
薛忠营
,
狄增峰
,
闵嘉华
功能材料与器件学报
利用高分辨率X射线衍射(HRXRD)和拉曼光谱(Raman spectrum)研究了由扩散引起Si/SiGe/Si异质结中Si/SiGe异质界面互混的现象.结果表明:应变弛豫前Si/SiGe异质界面互混程度随热载荷的增加而增强;Si/SiGe异质界面的硼(B)浓度梯度抑制了界面互扩散.总之,Si/SiGe互扩散作用越强诱发Si/SiGe异质界面越粗糙,从而导致器件性能恶化.
关键词:
Si/SiGe互扩散
,
热载荷
,
硼浓度梯度
